Ebpay

    人工上下料净化机台
    Load Port Station 配合OHT顺利获得E84通讯，进行FOUP上下料，并能够与上层系统MCS/EAP进行事件沟通。

    可选配置：单、双PORT；Clamp
    功能亮点：

    亲和人机界面

    稳定系统集成

    Load/UnLoad自主切换

    具有SEMI S2认证

    兼容多种EAP通信

    具备Clamp

    软件描述
    LPS Software
    LPS Software
    实时显示每个平台(Port)的运行状态，包括运行模式、业务状态、传感器状态、外部io输出状态、Foup相关信息。

    功能亮点：
    ▪ 单体客户端架构，降低硬件需求，易于部署维护，支持多种数据库。
    ▪ 精准辨识产品资讯，配合AMHS系统可快速完成产品传送，实现现场产品流程运作最佳状态。
    ▪ 减少人力运输风险，降低营运成本，确保最佳产品质量。
    重要参数
    技术指标参数
    尺寸（长*宽*高）

    272(mm)*523(mm)*1720(mm)

    重量

    150kg

    负载(位置数量)

    30kg

    震动

    		<0.5G

    噪音

    ≤70Db


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